论文部分内容阅读
应用ＴＲＩＭ和ＴＲＥＩＤＹＮ程序模拟氮化硼材料的溅射率与Ａｒ＾＋入射角的关系，Ａｒ＾＋辅助沉积氮化硼薄膜与硅基片的界面结构，铜基片溅射率与入射能量的关系，以及Ａｒ＾＋以垂直于表面方向轰击非晶硅产生的溅射速率。铜基片溅射率的计算结果与已有的实验数据比较表明，两者吻合得很好。
溅射与沉积过程的计算机模拟
【摘 要】
：
应用ＴＲＩＭ和ＴＲＥＩＤＹＮ程序模拟氮化硼材料的溅射率与Ａｒ＾＋入射角的关系，Ａｒ＾＋辅助沉积氮化硼薄膜与硅基片的界面结构，铜基片溅射率与入射能量的关系，以及Ａｒ＾＋以垂直于表面方向轰击非晶硅产生的溅射速率。铜基
【机 构】
：
清华大学电机工程与应用电子技术系,斯图加特大学等离子体研究所
【出 处】
：
真空科学与技术
【发表日期】
：
1998年3期
其他文献
目的探讨空气污染细颗粒物(PM2.5)对过敏性哮喘小鼠气道炎症反应及内质网应激影响.方法采集北京市区PM2.5,制备PM2.5干粉;采用卵清蛋白(OVA)致敏和激发小鼠建立急性期哮喘模
赵开美翻刻宋版《伤寒论》逼真北宋原刻本,医家美称赵氏翻刻本为＂宋本＂,北宋原刻本已佚。宋本今存五部,皆藏中国,极为珍秘,已为国宝。日本枫山秘府藏有一部,经反复考察,系据赵
情感因素无论是对教育教学方法还是教育教学效果都至为关键。一是情感因素直接影响学生的学习认同感,对破解学生学习心理问题极为重要;二是情感因素直接影响学生重要观念的形
职业实用性体育教育是高职院校体育教育改革的新探索，通过问卷调查对高职院校学生对职业实用性体育的认知情况和锻炼情况进行分析。并从职业技能性、科学预防性、终生受益性三
由中国一拖牵头，联合中国农业大学、中国农机院、甘肃机械科学研究院等10家单位共同实施的斟家科技部创新方法项目“农机装备智能制造创新方法系统性应用研究与示范”近日在中
据悉，部分工程机械主机生产厂近期拟对装载机价格上调，涨价幅度在5％-10％之间。分析人士认为，由于原材料上涨以及市场供需关系等原因，预计其他类型工程机械价格也将上调。
利用X射线荧光光谱仪进行了冶金原料膨润土中主次成分的测定。针对膨润土的基体结构进行了校准样品的人工配制；对试样处理方法、熔剂体系和稀释比例的选择进行了探讨；讨论了样
淳化本《伤寒论》是六朝传本，于北宋淳化三年（992）收录于《太平圣惠方》卷八。此本是北宋校正医书局校定宋本《伤寒论》及《千金翼方》卷九卷十选定的校本之一。今以淳化本校宋
近年来，在“儿童本位”的教育理念的指引下，课程游戏一体化日趋显著，成为教育改革一个重要的发展方向。为此，作为新时期的教师，必须从儿童实际需求出发，挖掘课程游戏化资源，搭建课程