【摘 要】
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微半球模具的三维对称性对半球谐振子的性能有着决定性的影响.提出使用热氧化工艺生长的SiO2材料作为掩膜层,以达到在使用HNA腐蚀溶液制作微半球陀螺谐振子模具的过程中加快
【机 构】
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中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川绵阳,621999
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微半球模具的三维对称性对半球谐振子的性能有着决定性的影响.提出使用热氧化工艺生长的SiO2材料作为掩膜层,以达到在使用HNA腐蚀溶液制作微半球陀螺谐振子模具的过程中加快纵向腐蚀速率及实现半球模具三维对称的目的.详细研究了不同腐蚀窗初始半径下HNA腐蚀溶液对单晶硅进行纵向和侧向腐蚀时,其腐蚀深度和腐蚀速率的演化规律,并在此基础上通过设置适当的腐蚀窗初始半径(5μm)以及腐蚀时间(15 min),成功制作出了半径为38.937 7μm的三维对称半球谐振子模具,通过球度拟合证明该模具整体半径方差为0.789 3μm,球度偏差为2％,为半球谐振子三维对称性的提升奠定了基础.
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