温度变化对微梁谐振频率的影响

来源 :天津大学学报 | 被引量 : 8次 | 上传用户：hyper11

【摘要】

：

双层材料微梁是一种常见的高灵敏度微梁传感结构,温度变化会使微梁发生弯曲形变并改变微梁的谐振频率.研究了微梁谐振频率与其构成材料的杨氏模量E和热膨胀系数α的关系.以氮化硅上沉积了不同厚度金膜的双层微梁结构为对象,通过在原子力显微镜AFM上的实验获得了295~325 K范围内微梁的弯曲形变和谐振频率分别与温度变化的关系曲线.对实验结果的分析表明,构成微梁两种材料热膨胀系数的差异会引起微梁的非线性形变和

【作者】

：

李艳宁赵景郭彤李英房轩傅星胡小唐

【机构】

：

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室

【出处】

：

天津大学学报

【发表日期】

：

2008年01期

【关键词】

：

微梁杨氏模量谐振频率灵敏度原子力显微镜 microcantilever Young＇s modulus resonant frequency se

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