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简介磁流体密封结构和原理，重点讨论它的主要参数和在单晶炉上使用的效果，最后是磁流体密封和其它形式密封的性能对比。
单晶炉上应用的新型密封——磁流体密封
【摘 要】
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简介磁流体密封结构和原理，重点讨论它的主要参数和在单晶炉上使用的效果，最后是磁流体密封和其它形式密封的性能对比。
【机 构】
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北京化工大学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1997年2期
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