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通过介绍麦克斯韦方程的离散过程，简单介绍了有限积分理论（Finite Integration Theory)。该理论直接以电场强度和磁感应强度为未知量，采用两套互相正交的网格，将场矢量离散为不同网格点上的一系列分量，将矢量积分方程转化为一组线性方程组。通过对SFC高频腔体模拟的实例，可以看出，此方法在腔体本征频率、Q值及腔体并联阻抗等腔体参数计算中具有叫高的精度，说明了基于FIT的MAFIA程序在腔体模拟中的可靠性。