MOCVD法制备β-Ga2O3一维纳米材料

来源 :辽宁科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:YY_SQYZ
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采用金属有机化学气相沉积法,以Au为催化剂,在蓝宝石衬底上制备β-Ga2O3一维纳米材料。采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、拉曼光谱仪、光致发光光谱仪对样品的物相、表面形貌、结构以及发光性能等进行了表征。主要研究了生长温度对其各种性能的影响。结果表明,600℃时,样品呈非晶态的小颗粒;650℃时为非晶态的纳米线;700℃时为结晶态的纳米柱;750℃时为结晶态的大颗粒。随着生长温度升高,样品在357 nm和408 nm处出现发光峰,且其发光强度随温度升高而增强。
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