为了研究点衍射干涉仪中针孔的横向离焦与轴向离焦对衍射光的强度与衍射参考波面误差的影响,基于菲涅耳衍射理论,建立了会聚光束经针孔衍射的数学模型,提出了将针孔衍射光的强度与衍射波面误差相结合以分析针孔衍射波前的方法,并综合考虑了会聚光束F数、针孔直径等参数的影响。研究表明:会聚光束F数越大,衍射光强度与波面误差越小;横向离焦的距离应小于艾里斑半径与针孔半径之差;横向离焦的允许范围与波长和F数成正相关,与针孔直径成负相关;当光束F=10时,在0~35 mm横向离焦范围内,直径1 mm以内的针孔可以全程满足波面误差峰谷(PV)值优于0.1λ的要求;可以通过调整轴向离焦来调整参考光的强度,并且针孔直径越小调整越灵敏;选择直径小于艾里斑半径的针孔可以保证衍射波前误差PV值优于10-2λ,测试光的强度控制在针孔有效衍射光强的1/10附近。仿真结果为设计点衍射干涉仪和分析其精度提供了理论和数据参考。