论文部分内容阅读
采用气态WO2（OH）2和H2作为反应气氛，通过化学气相沉积合成厚度100~300 nm、边长10~60μm的单晶W纳米片/带，通过SEM、TEM和EDS等测试分析手段对产物的形貌、结构和元素成分进行系统表征。结果表明：晶体生长热力学（表面能最小）和动力学（竞争生长）条件分别在单晶W纳米片/带的规则几何外形和二维生长方式中起到决定性作用，据此提出了单晶W纳米片/带的生长模型。纳米压痕仪测试结果表明，Si（100）基底上W纳米片的硬度和弹性模量分别为6.3 GPa和176 GPa。分别从表面氧化层，基底与纳