【摘 要】
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扫描电镜同能谱仪联用,为材料的元素分析提供了方便.对原子序数高的元素分析,可以做到定性和半定量分析;对轻元素分析,如碳,多数为定性分析.其原因为:其一,碳为轻元素,特征X
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扫描电镜同能谱仪联用,为材料的元素分析提供了方便.对原子序数高的元素分析,可以做到定性和半定量分析;对轻元素分析,如碳,多数为定性分析.其原因为:其一,碳为轻元素,特征X射线能量低,信号被探测器收集过程中,损失大;其二,计算中使用不同方法扣除碳元素背底,对计算结果会有不同的影响;其三,扫描电镜大多采用机械泵和扩散泵,给真空系统带来一定的油污染,能谱计算出的碳含量总是偏高.
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