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利用改进试验装置，及在简单盐溶液中加入添加剂的方法，电沉积制备出ＧａＡｓ薄膜。扫描电镜和Ｘ射线衍射仪测试结果表明，薄膜成分更接近化学计量比１：１，各次试验数值分散性小，厚薄均匀。
GaAs半导体薄膜电沉积的研究
【摘 要】
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利用改进试验装置，及在简单盐溶液中加入添加剂的方法，电沉积制备出ＧａＡｓ薄膜。扫描电镜和Ｘ射线衍射仪测试结果表明，薄膜成分更接近化学计量比１：１，各次试验数值分散性小，厚薄均匀。
【机 构】
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哈尔滨工业大学应用化学系,哈尔滨工业大学航天学院
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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2000年1期
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