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采用微机电系统（MEMS）技术设计制作了一种微冲击开关,其敏感元件由悬臂梁支撑的质量块和其下的微触点构成.在冲击加速度作用下,质量块与触点碰撞实现接通.开关芯片体积为5 mm×5 mm×0.5 mm,动作门限3 000g,响应时间84 μs,能承受极端的高冲击而不破坏.
一种高g值微冲击开关的研制
【摘 要】
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采用微机电系统（MEMS）技术设计制作了一种微冲击开关,其敏感元件由悬臂梁支撑的质量块和其下的微触点构成.在冲击加速度作用下,质量块与触点碰撞实现接通.开关芯片体积为5 mm&#
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
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爆炸与冲击
【发表日期】
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2007年2期
【基金项目】
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感谢扬波和杜连明工程师在实验中给予的帮助!
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