论文部分内容阅读
热残余应力对微机械加工制备的压力传感元件的非线性有重要影响。通过测量晶片曲率计算残余应力、有限元分析以及实验对照等方法,为解决氮化硅的残余应力和膜片厚度引起压力非线性问题建立了一个优化设计的窗口。
微机械加工薄膜压力传感器的非线性特性
【摘 要】
：
热残余应力对微机械加工制备的压力传感元件的非线性有重要影响。通过测量晶片曲率计算残余应力、有限元分析以及实验对照等方法,为解决氮化硅的残余应力和膜片厚度引起压力非线性问题建立了一个优化设计的窗口。
【机 构】
：
杭州照相机械研究所
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
2009年03期
其他文献
凤太矿集区是我国重要的铅锌资源基地,多年来无序开采造成了严重的环境问题,主要表现为:土壤重金属元素超标、地表水污染等问题。根据矿集区污染特征提出了电动修复法、含磷
全世界很多国家（包括中国在内）在发展经济的同时，都已将节约能源与保护环境放在重要位置!由于受“先发展、后治理”思维的影响，当前大多数企业的做法是对产生的废水、废气和固体
1943年1月,汪伪政府正式对英美宣战,并在其统治区实行所谓的“战时体制”。在金融领域,汪伪政府通过强化战时金融统制,加强了中央储备银行的职能,实现了币制的统一。但它并没
对比分析了涂层铣刀片和一般硬质合金铣刀片在铣削铸件时的不同切削参数，阐述了切削参数对工件质量和刀片耐用度的影响，提出了合理选择切削参数的原则。
我国经济发展已步入中低速增长期、提质增效的新常态,这要求我们加快转变农业发展方式,把粮食安全放在首位。当前,农业持续稳定发展面临农业生态环境受损,耕地、淡水资源紧张
经济全球化已成为一种不可逆转的历史发展大趋势，正引起人们的普遍关注和重视。但是，经济全球化具体表现在哪些方面?它的主要标志是什么?经济全球化对我国经济发展会带来哪些挑
地震地质条件是决定一个煤田开展地震勘探工作的客观条件,通常可分为表、浅部条件和深部条件。表、浅部地震地质条件是指地表及一定深度的地质和地貌特征,它主要影响地震勘探