空穴注入型CuPc二氧化氮气体传感器研究

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zydwnj

【摘要】

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讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型CuPc薄膜二氧化氮气体传感器,其器件结构为:采用溅射工艺的ITO(InO、ZnO)作下电极,真空蒸发CuPc薄膜作为敏感功能层,上电极为AL叉

【作者】

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王涛蒋亚东黄春华

【出处】

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仪器仪表学报

【发表日期】

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2003年z2期

【关键词】

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酞菁铜氧化铟锡空穴注入敏感特性 Copper phthalocyanine (CuPc) Indium-tin-oxide (ITO) Hole in

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讨论了一种新型的基于空穴注入效应的电导型CuPc薄膜二氧化氮气体传感器,其器件结构为:采用溅射工艺的ITO(InO、ZnO)作下电极,真空蒸发CuPc薄膜作为敏感功能层,上电极为AL叉指电极.这种CuPc传感器与传统的AlO3/CuPc/Al相比,电阻下降了3～4个数量级.同时讨论了该传感器的敏感特性.

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