【摘 要】
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TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TB
【机 构】
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山东理工大学材料科学与工程学院,山东鹏程陶瓷新材料科技有限公司
【基金项目】
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山东省自然科学基金资助项目(ZR2018MEM018);淄博校城融合计划支持项目(2017ZBXC059)
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TiB2-BN-AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。
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