【摘 要】
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为满足多晶硅行业生产中高温含尘气体过滤的需求,本文开展了Fe基高温气体净化膜材料成形和烧结工艺研究,获得了支撑体以及微滤膜层的最佳制备工艺。结果表明：本实验选用的Fe基
【机 构】
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西北有色金属研究院金属多孔材料国家重点实验室
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为满足多晶硅行业生产中高温含尘气体过滤的需求,本文开展了Fe基高温气体净化膜材料成形和烧结工艺研究,获得了支撑体以及微滤膜层的最佳制备工艺。结果表明：本实验选用的Fe基粉末采用气氛烧结的最佳烧结温度为1 280℃,在该温度下所获样品的耐压强度为113.82 MPa,相对透气系数223.84 m3/m2·KPa·h,通过粉末湿法喷涂技术制备了金属微滤膜层,获得的Fe金属微滤膜元件对于1μm的气体粉尘过滤效率可达98%以上,完全满足了多晶硅等行业生产中高温含尘气体净化分离的需求。
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