【摘 要】
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为研究基体偏压对AlCrSiON纳米复合涂层结构、力学性能和热稳定性的影响规律及机制,采用电弧离子镀技术在硬质合金基体上沉积AlCrSiON涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍
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为研究基体偏压对AlCrSiON纳米复合涂层结构、力学性能和热稳定性的影响规律及机制,采用电弧离子镀技术在硬质合金基体上沉积AlCrSiON涂层。利用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射仪（XRD）、透射电子显微镜（TEM）、纳米压痕仪（划痕仪）研究涂层组织结构和力学性能;通过真空退火试验研究涂层的高温稳定性。结果表明：AlCrSiON涂层为致密柱状晶结构,并主要由c-（Al,Cr）N和c-（Al,Cr）（O,N）两相组成,呈现出纳米复合结构。随着偏压的升高,涂层表面的颗粒数目和尺寸减少,组织结构更加致密
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