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期刊论文
21世纪纳米级加工技术
21世纪纳米级加工技术
来源 :中国机电工业 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lmy
【摘 要】
:
纳米技术是一门在0.1-100nm空间尺度内操纵原子和分子,对材料进行加工,制造出具有特定功能的产品,或对某物质进行研究,掌握其原子和分子的运动规律和特性的崭新高技术学科,其
【作 者】
:
苑国良
【出 处】
:
中国机电工业
【发表日期】
:
2001年12期
【关键词】
:
21世纪
纳米技术
机械加工
化学腐蚀
能量束加工
STM加工
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纳米技术是一门在0.1-100nm空间尺度内操纵原子和分子,对材料进行加工,制造出具有特定功能的产品,或对某物质进行研究,掌握其原子和分子的运动规律和特性的崭新高技术学科,其中包括纳米级加工和纳米级测量技术--原子和分子的去除、搬迁和重组,微型、超精密机械和机电系统等.
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