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期刊论文
GaN材料中离子注入的研究进展
GaN材料中离子注入的研究进展
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:YenLoveRicky
【摘 要】
:
综述了GaN材料中离子注入的研究进展,重点介绍了离子注入技术在GaN材料中的发光(PL,EL,CL)研究,注入隔离p-gajf/n-型掺杂和深能级缺陷研究中的应用。
【作 者】
:
罗海林
王琼
【机 构】
:
武汉大学理学院加速器实验室
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
1999年2期
【关键词】
:
离子注入
发光
掺杂
深能级缺陷
氮化镓
Gallium Nitride
ion-implantation
luminescence
implantati
【基金项目】
:
国家自然科学基金(批准号19775036)
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综述了GaN材料中离子注入的研究进展,重点介绍了离子注入技术在GaN材料中的发光(PL,EL,CL)研究,注入隔离p-gajf/n-型掺杂和深能级缺陷研究中的应用。
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