GaN材料中离子注入的研究进展

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综述了GaN材料中离子注入的研究进展,重点介绍了离子注入技术在GaN材料中的发光(PL,EL,CL)研究,注入隔离p-gajf/n-型掺杂和深能级缺陷研究中的应用。
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