摘要：Interbay物料自动搬运系统的运行效率对于晶圆制造系统影响较大，研究Interbay物料自动搬运系统的绩效具有较大的意义[1]。该文以带有捷径的单闭环背脊式布局的物料自动搬运系统为研究对象，通过问题描述，简化、假设将实际问题抽象为导引运输模型。然后，建立数学模型，采用Dijkstra算法确定工件搬运的最短路径。最后，利用Arena仿真软件建立含有导引运输设备的模型，采用控制变量法探究小车数量小车占用轨道的方式、调度规则等因素对于产出的影响，发现对于本文中的模型，其它条件相同时，搬运系统采用Release-at-end 的控制方式，系統最大搬运量越大。 全文查看链接 　　从结果还可以看出，在这种模型下，并非OHT越多总的搬运量越大。n全文查看链接