论文部分内容阅读
通常红外光学薄膜是在较高温度下制备得到的。在低温下应用时,其产生的热应力会显著影响其光谱性能和可靠性。利用传统桥梁弯曲理论和膜层间位移协调条件分析了多层膜中的水平应变、弯曲应变和热应力分布情况。在详细推导的基础上,根据膜层厚度远小于基片厚度的实际情况,得出了多层膜中热应力的简化计算公式。结合长波红外窄带滤光片实例,分析了其多层膜中热应力的数值大小和分布情况。