【摘 要】
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采用电刷镀技术制备不同晶粒尺寸的纳米晶铜膜。利用透射电子显微镜分析电刷镀纳米晶铜膜的微观结构，计算晶粒尺寸范围；利用UNMT-1型纳米力学综合测试系统对电刷镀纳米晶铜膜进
【机 构】
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长春工业大学先进结构材料省部共建教育部重点实验室,长春应用化学研究所稀土资源利用国家重点实验室
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采用电刷镀技术制备不同晶粒尺寸的纳米晶铜膜。利用透射电子显微镜分析电刷镀纳米晶铜膜的微观结构，计算晶粒尺寸范围；利用UNMT-1型纳米力学综合测试系统对电刷镀纳米晶铜膜进行室温纳米压痕实验。由实验可知，添加剂对纳米晶铜膜的晶粒尺寸和压痕硬度均有较大的影响。在添加剂45g／L条件下，平均晶粒尺寸最小为32nm左右，压痕硬度为3．26GPa；在添加剂1g／L条件下，平均晶粒尺寸增大到150nm左右，压痕硬度减小为1．72GPa。
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