【摘 要】
：
提出了一种在反应离子深刻蚀中既可以加强热传递又可以抑制notching效应的方法，尤其适用于含有细长梁结构的刻蚀．通过在硅结构的下表面溅射一薄层金属，以加强刻蚀过程中产生的热
论文部分内容阅读
提出了一种在反应离子深刻蚀中既可以加强热传递又可以抑制notching效应的方法，尤其适用于含有细长梁结构的刻蚀．通过在硅结构的下表面溅射一薄层金属，以加强刻蚀过程中产生的热量的消散，降低了硅结构的温度．用有限元仿真和实验分别验证了该方法的有效性．同时，金属层也抑制了刻蚀离子所带电荷在绝缘介质层上的积累，防止了自建电场的产生，抑制了notching效应．该方法通过扫描电子显微镜的测量也得到了实验验证．加工了一个SOI梳齿驱动器，检验了本方法的有效性和适应性．
其他文献
上海液化天然气接收站罐体筒身施工采用了国内外先进的DOKA模板，本文简要介绍了DOKA模板及其施工过程中的安全管理要求。
结构化P2P网络下的多属性资源发现一直是一个公开问题.本文针对当前一种新颖的、优于传统方法的多属性资源发现方法-PIRD,深入分析了其在网络动态变化时可能出现的低查询效率
本文根据计算机教学的特点,首先提出了研究计算机教学法的作用和重要意义,接着重点介绍了常用计算机教学法及其具体应用中的一些方法和技巧,揭示了计算机教学方法的研究对提
本文提出了在地级市环境监测部门建立环境监测网络体系与技术体系的观点,细述其运作模式、运行机制、保障等具体方案内容,并且集中探讨了如何构建污染监控、科技支撑、资金投入、公众参与等体系要素的方法,为更好的服务于环境管理,实现“十一五”环境保护目标打下基础。
WKB是研究非均匀等离子体中电磁波传播现象时经常采用的一种经典计算方法,但是该方法忽略了电磁波传播过程中前向波和后向波的耦合效应.为了提高计算结果的准确度,可利用差分
本文从力学角度对高大模板支撑系统受力变形进行了分析，要保证高大模板支撑体系的稳定，只通过计算满足要求是不够的，还应在构造上加强措施，才能使高大模板支撑系统由几何可变体系
随着教育改革的纵深发展,诣在全面提高学生素质;近几年来高考内容的改革,也体现了注重对学生能力和素质的考查;所以对初中、高中物理这门课程进行了一系列的调整,实行了新课
学校领导的成长受制于内外各种要素，但养成良好的管理行为习惯是学校领导成长必备的内在要素。以个人浅见，一个优秀的领导者必须具有以下几方面的管理行为习惯。
本文对近年来国内外窄通道过冷沸腾起始点的研究状况进行了归纳。介绍了已发表的一些适用于环形和矩形窄缝通道的计算过冷沸腾起始点热流密度的关系式,重点分析了窄通道的几
地理启发式教学是指地理教师在教学过程中依据地理教学规律和学习规律,引导诱发学生积极、主动地学习和掌握地理知识的教学方法.这种方法符合学生是主体,教师是引导者的新教