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介绍了一种以弹性导轨为支承的平面三自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法及闭环控制的基本原理。采用电致伸缩微位移器驱动弹性导轨 ,电涡流传感器测量工作台的微位移 ,能可靠地保证微动工作台的运动精度 ,并使其结构简单、紧凑。
闭环控制的微动工作台设计
【摘 要】
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介绍了一种以弹性导轨为支承的平面三自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法及闭环控制的基本原理。采用电致伸缩微位移器驱动弹性导轨 ,电涡流传感器测量工作台的微位
【机 构】
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合肥工业大学
【出 处】
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工具技术
【发表日期】
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2004年04期
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