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采用溶胶-凝胶法在石英玻璃衬底上使用旋转涂覆技术生长了ZnO薄膜．对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴取向生长，透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3．28eV，与ZnO体材料的禁带宽度3．30ev基本相同，用光致发光谱分析了经过500～700℃、热处理获得的ZnO薄膜，结果表明ZnO薄膜在室温下有较强的紫外带边发射，但当热处理温度高于700℃时，可见光波段发射明显增加。