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以静电感应晶闸管的长期工艺实践为基础，总结和研究了器件结构参数对ＳＩＴＨ主要性能参数的影响，并分析了其原因，提出了改善ＳＩＴＨ器件性能的工艺和设计方法。
静电感应晶闸管的工艺控制和参数调节
【摘 要】
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以静电感应晶闸管的长期工艺实践为基础，总结和研究了器件结构参数对ＳＩＴＨ主要性能参数的影响，并分析了其原因，提出了改善ＳＩＴＨ器件性能的工艺和设计方法。
【机 构】
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兰州大学物理系静电感应器件研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2000年1期
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