【摘 要】
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尽管GaN基蓝绿光发光二极管 (LED)已进入大规模商品化阶段 ,但其发光波长随注入电流的变化仍是一个尚未解决的关键技术难题 .同时 ,蓝绿光LED电注入发光光谱的半高全宽多为 2
【机 构】
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清华大学电子工程系; 清华大学电子工程系 集成光电子学国家重点实验室; 北京100084; 集成光电子学国家重点实验室; 北京100084;
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划 (批准号 :2 0 0 1AA3 13 13 0 ;2 0 0 1AA3 12 190 );国家重点基础研究发展规划 (批准号 :TG2 0 0 0 0 3 660 1);国家自然科学基金 (批准号 :60 2 44 0 0 1;60 2 90 0 84)资助的课题~~
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尽管GaN基蓝绿光发光二极管 (LED)已进入大规模商品化阶段 ,但其发光波长随注入电流的变化仍是一个尚未解决的关键技术难题 .同时 ,蓝绿光LED电注入发光光谱的半高全宽多为 2 5nm以上 .通过优化LED器件材料的生长条件和总应变量 ,获得了高质量的InGaN GaN多量子阱LED外延片 .由此制作的LED器件在 0— 1 2 0mA的注入电流下 ,发光波长变化小于 1nm .在 2 0mA的正向电流下 ,其光谱半高全宽只有 1 8nm ,且随注入电流变化较小
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