【摘 要】
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用划痕法测试了不同成分的Ti -Al-N系功能梯度薄膜及其均质薄膜的膜基结合力。结果表明 ,Ti-Al-N系功能梯度薄膜的膜基结合力高于均质膜 ,且随着氮分压变化间隔的增加 ,结合
【机 构】
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西北工业大学材料科学及工程学院!陕西西安710072,华中理工大学材料学院!湖北武汉430074,华中理工大学材料学院!湖北武汉430074,西北工业大学材料科学及工程学院!陕西西安710072
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用划痕法测试了不同成分的Ti -Al-N系功能梯度薄膜及其均质薄膜的膜基结合力。结果表明 ,Ti-Al-N系功能梯度薄膜的膜基结合力高于均质膜 ,且随着氮分压变化间隔的增加 ,结合力逐渐增大。基于膜基匹配及残余应力与结合力的关系 ,合理地解释了成分梯度对Ti -Al-N系功能梯度薄膜结合力的影响。
The film-based adhesion of Ti-Al-N functional gradient films with different compositions and their homogeneous films was tested by scratch test. The results show that the bonding strength of Ti-Al-N functional graded film is higher than that of the homogeneous film, and the bonding strength increases with the increase of nitrogen partial pressure. Based on the film-based matching and the relationship between residual stress and cohesion, the influence of composition gradient on the binding force of Ti-Al-N functional gradient films is reasonably explained.
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