电子回旋共振放电的电离特性PIC/MCC模拟(Ⅱ)——数值模拟与结果讨论

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采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的方法,应用电磁模型,编写了准三维的电子回旋共振(ECR)放电电离过程的模拟程序,得到了ECR放电过程中电子与离子的相空间分布、电磁场分布.通过对这些分布随时间演化的分析,得出ECR加热发生在ω≈ω∞且垂直于轴向的区域;ECR区域,微波能量几乎全部耦合给电子,获得能量的电子通过与中性粒子的电离碰撞产生了大量的带电粒子;随着放电的进行,大量带电粒子通过频繁的碰撞,分布由各向异性逐渐趋于各向同性.
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