【摘 要】
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对于厚度为１０—１００μｍ的薄膜，传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条，然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以８０９８单片机为核心的β射线薄膜
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对于厚度为１０—１００μｍ的薄膜，传统测厚方法是将薄膜从生产线上切下一条，然后送实验室用光学仪器测量。这种方法的缺点是测量时间长、速度慢。本文介绍一种以８０９８单片机为核心的β射线薄膜测厚仪，精度高、速度快，能满足薄膜生产线高精度在线实时测厚的要求。
For the thickness of 10-100μm film, the traditional method is to measure the thickness of the film cut from the production line, and then sent to the laboratory to measure optical instruments. The disadvantage of this method is the measurement time is long, slow. This article describes a 8098 single-chip microcomputer as the core of beta ray film thickness, high precision, high speed, thin-film production line to meet the high-precision online real-time thickness measurement requirements.
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