【摘 要】
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给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空
【机 构】
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中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室,中国科学技术大学中国科学院材料力
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给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-b it CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.
A design and fabrication of a bi-material micro-cantilever array, a core device for uncooled optical readout infrared detectors, is presented. The micro-beam array is a SiNx / Au dual-material monolayer without silicon substrate The fabrication process is simple and can be directly imaged in the air.The experiment uses the designed 140 × 98 micro-beam array and high signal-to-noise ratio 12-b it CCD to get the thermal image above 120 ℃, the noise is equivalent The temperature difference (NETD) is about 7K, and the experimental results are consistent with those predicted by thermomechanical model.
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