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以正硅酸乙酯（TEOS）为前驱体，采用酸碱两步催化法制备SiO2醇凝胶。醇凝胶分别经TEOS母液、六甲基二硅胺烷（HMDSA）处理后，采用CO2超临界干燥法制备出密度在30～100mg／cm^3的SiO2气凝胶。用傅立叶变换红外光谱（FTIR）对疏水性SiO2气凝胶进行了表征，并用扫描电镜图研究了气凝胶改性前后的微观网络结构。改性后的气凝胶微观骨架变大，部分细小的网络结构消失。改性后的气凝胶在潮湿环境中具有极好的尺寸稳定性和疏水性能。用精密车床加工出了满足惯性约束聚变物理试验要求的ICF靶微柱。