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结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动学分析.
径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究
【摘 要】
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结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计,分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩部件、末端翻转部件的机构以及工作原理,并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动
【机 构】
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大连理工大学
【出 处】
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制造业自动化
【发表日期】
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2005年2期
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