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为配合Ⅲ－Ⅴ族半导体研制和评定金属有机物化学气相沉积（简称ＭＯＣＶＤ）装置的尾气处理效果，及其对安全的影响，研究了用气相色谱对所用的高纯氢化物的杂质、检测灵敏度及相对保留值；混合氢化物的组分；反应尾气中有害物在处理前后的含量变化等进行了测定。组分分离较好，相对标准误差小于２．３％。环保质量符合国家规定。