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对表面粗糙度的评定参数进行了分析比较,应用Beckmann光散射理论推得同步测定表面粗糙度的振幅信息(轮廓均方根偏差σ)和频率信息(相关长度T)的方法.测得的二维数据能更全面地反映表面粗糙度状况.
表面粗糙度二维信息同步测量方法
【摘 要】
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对表面粗糙度的评定参数进行了分析比较,应用Beckmann光散射理论推得同步测定表面粗糙度的振幅信息(轮廓均方根偏差σ)和频率信息(相关长度T)的方法.测得的二维数据能更全面
【机 构】
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长春理工大学机电工程学院
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2005年2期
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