【摘 要】
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基于差分电容原理和MEMS技术,设计了一种低噪声MEMS电容式加速度传感器.该加速度传感器包括一个敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路.通过优化敏感芯片的结构和低
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基于差分电容原理和MEMS技术,设计了一种低噪声MEMS电容式加速度传感器.该加速度传感器包括一个敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路.通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路相结合,制作出加速度传感器.利用MEMS技术制作的微结构封装的加速度传感器经过测试,验证了该传感器具有高灵敏度,高分辨率和低噪声特点.
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