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本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度和可靠的稳定性。
埋沟式横向电压型集成压力传感器
【摘 要】
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本文提出一种低功耗埋沟式横向电压型集成压力传感器结构,并根据精确的工艺模型成功地进行了工艺计算机模拟程序和制作。实验表明,该器件可以在低功耗条件下具有很高的灵敏度
【机 构】
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复旦大学电子工程系,复旦大学电子工程系
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1991年2期
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