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在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色.但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属加工业的需求,现有激光系统的性能已无法满足一些客户的要求.
全新轻型激光干涉仪测量系统——XL-80的性能、易用性和便携性
【摘 要】
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在超精密的测量和校准方面,激光干涉仪已经扮演多年极重要的角色.但是近年来随着自动化运动系统性能大幅提高,面对半导体和传统金属加工业的需求,现有激光系统的性能已无法满
【出 处】
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上海计量测试
【发表日期】
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2007年2期
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