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原子力显微镜(AFM)是一种依靠原子间作用力进行纳米尺度显微成像的仪器。随着其技术核心即探针针尖的制备和修饰方法的不断改进, AFM得到了持续的发展以及更广泛的应用范围。本文介绍了AFM的关键技术和发展历程,统计分析了全球以及中国国内AFM领域的专利申请,挖掘了本领域的技术发展节点和脉络。