【摘 要】
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本文介绍恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了误差分析与实验结果．流量测量范围为３．４９～１．９７×１０５Ｐａ１／ｓ，不确定度≤２．２５％。该微流量计已用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。
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本文介绍恒压式微流量计的设计原理和参数的选择方法，并给出了误差分析与实验结果．流量测量范围为３．４９～１．９７×１０５Ｐａ１／ｓ，不确定度≤２．２５％。该微流量计已用于动态流量法校准系统和低温泵的抽速测量之中。
This paper introduces the design principle and parameter selection method of constant pressure micrometer, and gives the error analysis and experimental results. Flow measurement range of 3.49 ~ 1.97 × 105Pa1 / s, uncertainty ≤ 2.25%. The microflow meter has been used in dynamic flow rate calibration system and cryogenic pump pumping speed measurement.
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