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给出常用的轻质材料，对比分析了碳化硅的材料特性。介绍了碳化硅反射镜制造中的几个关键问题，包括ＲＢ碳化硅反射镜毛坯制造，ＳｉＣ涂层技术和ＳｉＣ反射镜的加工技术。
碳化硅轻型反射镜技术
【摘 要】
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给出常用的轻质材料，对比分析了碳化硅的材料特性。介绍了碳化硅反射镜制造中的几个关键问题，包括ＲＢ碳化硅反射镜毛坯制造，ＳｉＣ涂层技术和ＳｉＣ反射镜的加工技术。
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1999年2期
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