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在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体--电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,总结了ICP目前存在的问题,展望了其应用前景.
电感耦合等离子体源的研究进展
【摘 要】
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在简要回顾传统高密度等离子体源的基础上,重点介绍了新一代的低温高密度等离子体--电感耦合等离子体源(ICP)的放电机理,并结合最近的研究进展,系统分析了ICP的性能影响因素,
【机 构】
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成都信息工程学院光电技术系
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2007年4期
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