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<正> 扫描电子显微镜(Scaning Electron Mi-croscope,简称:SEM)是在 x 射线微区分析仪(简称:XMA)研制和产品制造的基础上得到发展和推广的,目前世界上这两种装置总共约制造有8,000台左右。扫描电子显微镜是一种性能居于以往的旧式光学显微镜和透射电子显微镜(Trans-mission Type Electron Microscope,简称:TEM)两者之间的显微镜。今后与 x 射线微