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随着光通讯的发展,对光学薄膜的性能要求越来越高,这对镀膜机的均匀性提出更高要求。本文通过设计一种新的夹具,使镀膜机的均匀性由1%优化为0.1%。
磁控溅射光学膜均匀性改进
【摘 要】
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随着光通讯的发展,对光学薄膜的性能要求越来越高,这对镀膜机的均匀性提出更高要求。本文通过设计一种新的夹具,使镀膜机的均匀性由1%优化为0.1%。
【机 构】
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武汉光迅科技股份有限公司,宝石机械成都装备制造分公司,
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2017年02期
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