论文部分内容阅读
采用基底曲率法测量了硅基铁电微声学器件中各层薄膜的残余应力情况,通过调节热氧化的二氧化硅层的厚度,优化了微声学器件中复合膜的残余应力,得到平整的振膜结构,提高了器件的可靠性和成品率.
硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究
【摘 要】
：
采用基底曲率法测量了硅基铁电微声学器件中各层薄膜的残余应力情况,通过调节热氧化的二氧化硅层的厚度,优化了微声学器件中复合膜的残余应力,得到平整的振膜结构,提高了器件
【机 构】
：
清华大学
【出 处】
：
中国机械工程
【发表日期】
：
2005年14期
其他文献
20世纪90年代以后，环境问题成为各国关注的热点，并掀起了治理环境、保护环境的高潮，环境审计也开始在理论和实践方面进行有益的探索。本文就我国开展环境审计的现状、现实障碍及
本文主要探索了厚壁电瓷制品的最佳烧成方法的试验,尤其对500～700℃危险温度范围影响厚壁产品烧成缺陷的转折点的试验,收到良好效果。并叙述了原料、颗粒结构和制造工艺对焙烧
目的地的竞争已不仅仅是旅游资源的竞争,更是旅游形象的竞争。大到国家地区,小到市县甚至是一个景区,能否塑造富有吸引力的旅游形象,直接关乎旅游业的可持续发展。目的地的形
一、外商投资与我国的宏观经济作为发展中大国,我国宏观经济首要解决的是经济增长问题,这也是我国实行改革开放政策的初衷所在.外商投资作为重要的外部资金来源,弥补了我国的
督脉有络脑通髓，总督神明：联系脏腑，统诸阳经；关乎诸经，主司动力之生理功能。而督脉治疗中风的病理联系关键是：病位在脑；脏腑阴阳失调（尤其是心、肝、肾三脏功能失司）。在脏腑阴阳失调
主成分分析方法是一种依据客观数据，将多种影响因素综合成少量几个影响因素的方法。运用主成分分析法对构建的县域科技成果转化绩效评价指标体系进行分析，把众多体现科技成果转
本文根据1998--2004年广东省的统计数据，以灰色关联度分析方法为基础，对广东省科技投入的两个指标——R＆D经费投入和科技人员投入与经济增长进行关联性分析。结果表明，R＆D经费投入