【摘 要】
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在单光束照明3PIE(Ptychographic Iterative Engine)方法中，照明光垂直照射在待测样品表面，没有考虑照明光倾斜对重构结果的影响。在单光束照明3PIE方法的基础上提出了双光束照明3PIE方法，同时模拟分析了初始猜测照明光中相位倾斜因子对成像质量的影响。双光束照明3PIE方法在迭代恢复样品的过程中，两束照明光均用于更新同一样品的复振幅分布，理论分析和实验结果均表明，双光束照明3PIE方法能够提高算法的收敛速度，有效减弱恢复样品不同层次之间的串扰，适用于三维层析成像。
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室,上海201800中国科学院大学,北京100049
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在单光束照明3PIE(Ptychographic Iterative Engine)方法中，照明光垂直照射在待测样品表面，没有考虑照明光倾斜对重构结果的影响。在单光束照明3PIE方法的基础上提出了双光束照明3PIE方法，同时模拟分析了初始猜测照明光中相位倾斜因子对成像质量的影响。双光束照明3PIE方法在迭代恢复样品的过程中，两束照明光均用于更新同一样品的复振幅分布，理论分析和实验结果均表明，双光束照明3PIE方法能够提高算法的收敛速度，有效减弱恢复样品不同层次之间的串扰，适用于三维层析成像。
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