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利用飞秒激光双光束干涉技术,在ZnO晶体表面制备亚微米孔阵列结构.该结构由微米光栅结构和亚微米孔组成.其中,微米光栅结构由双光束干涉的光强分布决定.亚微米孔由激光诱导长周期条纹演化而成,双光束干涉对光强的局域在形成过程中起了重要的作用.调节照射激光波长能够制备不同尺寸的纳米孔阵列,在激光纳米加工中具有潜在的应用价值.