Extended Anode Effect for Tube Inner Coating of Non-Conductive Ceramics by Pulsed Coaxial Magnetron

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：tangdongd

【摘要】

：

For uniform tube inner coating of non-conductive thin films, the double-ended coaxial magnetron pulsed plasma (DCMPP) method was investigated. In this study, co

【作者】

：

Musab Timan Idriss Gasab Hiroy

【机构】

：

GraduateSchoolofEngineering,GEOMATECCoLtd.

【出处】

：

材料科学与应用期刊(英文)

【发表日期】

：

2018年1期

【关键词】

：

Double-Ended COAXIAL MAGNETRON PULSED Plasma Tube Inner Coating EXTENDED Anode E

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For uniform tube inner coating of non-conductive thin films, the double-ended coaxial magnetron pulsed plasma (DCMPP) method was investigated. In this study, coating of TiN and TiO2 was performed. It was clearly shown that the extended anode effect was st

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