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电感式位移传感器被广泛应用于微位移高精度测量领域,且通常的检测方式是将被测位移量转化为输出电压幅度,检测精度受信号调理电路局限会产生一定误差。针对以上设计了一种将位移量转变为输出信号频率量,结合ARM处理器运算测频的方式。为了减小ARM处理器运算负担,提高系统实时性,将改进的5点M-Rife算法应用于测频计算。数据最终测量结果通过蓝牙无线传输至上位机。经实验分析得,位移相对误差控制在0.028%～0.09%内,在1 000 mm量程范围内平均误差为0.005 mm,系统实用性好,具有一定工程参考价值。