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本文提出和发展了一种多扫描方式的新型原子力显微镜（AFM）技术及系统。该系统拥有三个不同的扫描器,以相互组合的方式实现三种不同的扫描方式,由管状压电陶瓷驱动的柔性结构扫描器,采用样品扫描方式,对于小尺寸样品能够提供高分辨率的快速扫描;由叠层式压电陶瓷驱动的扫描器,采用探针扫描方式,提供各类样品的大范围扫描;由步进电机驱动的扫描器,采用样品扫描方式,能够实现大尺寸样品的大范围扫描。三种方式的单幅图像扫描范围可分别达到4μm×4μm、20μm×20μm、40μm×40μm。实验结