多步法圆度误差分离的演化形式及其谐波抑制分析

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论述了多步法圆度误差分离技术原理,并通过测量次数、向量权函数的不同选择演化出了等转角多步法、两步法、反转法及不等角两次转位法,并对其逐一进行了谐波抑制分析。
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